真空度torr-托 - 忆未来

真空度torr-托

只能无限接近真空,永远到不了0托的,肯定是正压.但是相对于大气压来说里面是小于大气压的

1 Atm = 760 Torr
1 pa = 0.007501 torr; 1 torr = 133.322365 pa

真空泵按工作条件的不同分为两类: 能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵(如机械泵),用来产生预备真空。 
需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵(扩散泵),次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。 
真空分段: 

① 粗真空760 ~10 Pa; 5.7 - 0.075 torr
② 低真空10 ~10- 2 Pa;  0.075 - 0.000075 torr
③ 中真空10- 2 ~10- 4 Pa; 0.000075 - 7.5x10-5 torr
④ 高真空10-4~10-7Pa;
⑤ 超高真空10- 12~10- 14 Pa; 


-粗略真空 760~1 torr
-中度真空 1~ 10-3 torr
-高真空 10-3~ 10-7 torr
-超高真空 10-7torr以下

腔体常用压和 3-6x10-3pa。

扩散泵是高真空泵, 当机械泵的极限真空度不能满足要求时,通常加扩散泵来获得高真空。这种泵不能从通常气压下开始工作,只能在低于1 Pa 气压下才能工作。因此,必须与初级泵串联使用。

分子泵和扩散泵可以到达的真空度范围是差不多的,两个是同级的。但两个泵又各有不同的优点和缺点,所以在市场上两者是并存的。
1:分子泵体积小,耗能小,对真空室的污染比较小。但是相比扩散泵,分子泵的抽气速度比较低,维护成本比较高(精密)。
2:扩散泵可以设计为很大的抽速,购置成本比较低。但是扩散泵体积比较大,能耗高,会对真空室有很重的油污染,一般要配合液氮(氦)冷阱用(运营成本高),不环保。
按趋势来讲,高真空泵还是向分子泵方向在发展,但是由于分子泵叶片转速很高,所以对轴承有很高的要求,国内厂家生产的分子泵稳定性不是很好,国外的分子泵价格又过高,所以国内工业生产上一般还是选用扩散泵。只有在一些高端的产业像半导体产业和科研单位才会用到分子泵。

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